基于飛秒光片的多材料超快3D微納加工

簡介

我們開發了基於數字全息投影和時域聚焦的加工方法,通過雙光子聚合或直接材料組裝實現高速3D微納加工。通過對光刻膠和水凝膠的設計打印多種功能性3D微納設備,實現了創紀錄的分辨率、速度、成本和材料多樣性

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商品化機會
專利 1-4 已授權給公司進行商業化
解決方案

我們解決了製造具有低於50 nm分辨率複雜3D結構的重大挑戰。並且,該方法大大增加了適用的材料範圍,包括金屬、合金、氧化物、半導體、聚合物,及生物材料。此加工具有極高的速度和低成本(1.5 美元/mm3),使得其可用於工程領域的實際應用

創新技術
  • 通過數字微鏡設備,在空間和時域聚焦飛秒激光得到可編程的飛秒激光片
  • 同時,產生數千個單獨可控的激光焦點以實現高速的平行、隨機掃描
  • 開發可直接打印壓電或磁性微型設備(例如微型機器人或傳感器)的功能性光刻膠。開發可收縮水凝膠基底,通過超高峰值功率的激光實現動力學調控的直接材料組裝
主要成效
  • 在分辨率、加工速度、成本、和適用材料種類方面創造 3D 納米加工的新記錄
  • 成功製造通過傳統方法難以實現的的新型光學或超材料結構器件
獎項
  • 2018年,獲得R&D 100 最佳新技術產品獎 - 基於數字全息投影的3D微納打印機:Nano-Builder
應用範疇
  • 納米級 3D 打印和 3D 製造

專利申請

  • U.S. Patent No. 11,312,067, Apr. 26, 2022.
  • U.S. Patent 10,207,365, Feb. 19, 2019.
  • U.S. Patent No. 10,821,671, Nov. 3, 2020.
  • US Utility Patent Application No. 17/302,671, 2021.
  • U.S. Patent, No. 10,401,603, Sept. 3, 2019.
香港中文大學

香港中文大學(中大)成立於1963年,是一所具有全球視野的前瞻性綜合性研究型大學,其使命是融合傳統與現代,融匯中西。中大師生來自世界各地。四位諾貝爾獎得主與大學有關係,是香港唯一一所擁有諾貝爾獎、圖靈獎、菲爾茲獎和凡勃倫獎得主的大專院校。中大畢業生通過廣泛的校友網絡連接全球。中大在多個學科領域開展廣泛的研究項目,並努力為所有學術人員提供開展諮詢和與業界合作項目的空間。大學對最高研究標準的堅持為其贏得了令人羨慕的研究聲譽。學校設有5個國家重點實驗室,受中國科技部委託,開展具有國際水平的研究,承擔國家重大科研任務。大學還擁有發表研究的出色記錄,無論是在特定學科期刊,還是在更引人注目的出版物上,如《科學》、《自然》和《刺針》。

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